Цена отечественной новинки будет на порядок ниже, чем у зарубежных конкурентов
В микроэлектронике, если отечественные производители не освоят наноуровень, то есть не выйдут на размеры 0,13 – 0,09 микрона, они окажутся неконкурентоспособными. На ОАО «Интеграл» задачу прекрасно понимают и первые шаги к ее решению делают. Но как обеспечить контроль наноразмерных элементов топологического рисунка создаваемых интегральных микросхем? Ведь для традиционных оптических приборов существует непреодолимый предел: детали размером менее 0,35 микрона они не различают.
Вот почему белорусские создатели микроэлектроники с таким воодушевлением встретили новость о том, что в Государственном научно-производственном объединении точного машиностроения «Планар» успешно прошел приемочные испытания уникальный комплекс – сканирующий зондовый микроскоп СЗМ-200. Этот инструмент, разработанный специалистами научно-производственного республиканского унитарного предприятия «Конструкторское бюро точного электронного машиностроения – Инженерно-технический центр» (КБТЭМ-ИТЦ) и учеными Института тепло- и массообмена Национальной академии наук Беларуси, не имеет аналогов на постсоветском пространстве, и только три страны до сих пор производили подобную высокотехнологичную и очень дорогую технику – США, Япония и Германия. Беларусь теперь пополнила клуб избранных и может претендовать на свою нишу на мировом рынке, так как цена на микроскоп отечественного производства будет в несколько раз ниже, чем у конкурентов. Естественно, не останется без внимания и внутренний рынок. Первый экземпляр микроскопа, кстати, предназначен как раз для «Интеграла».
Как пояснил научный руководитель разработки, главный ученый секретарь Национальной академии наук Беларуси член-корреспондент Сергей Чижик, принцип атомно-силовой микроскопии состоит в том, что к исследуемому объекту на расстояние действия межатомных сил подводится специальная консоль с тончайшей иглой. Зонд в таком случае реагирует на мельчайшие неровности, которые не видны даже с помощью самой сильной оптики, и эти колебания считывает лазерный луч. В результате микроскоп рисует на мониторе компьютера не сам объект, а его увеличенный объемный образ, созданный зондом.
Но если с задачей справляется зондовый микроскоп, то для чего в комплекс входит оптический блок? Без него, как оказалось, очень трудно отыскать на проверяемой микросхеме или другом миниатюрном объекте нужное для просмотра место. Поэтому оператор или автоматическая система сначала находит и позиционирует с высочайшей точностью предмет изучения с помощью обычного, но очень мощного оптического микроскопа, и лишь затем переходит к его сканированию зондом. Такого совмещения функций в одном комплексе нет у зарубежных приборов, и в этом, по мнению специалистов, большое конкурентное преимущество отечественной техники. К ее достоинствам относится и то, что прибор позволяет работать с конкретным изделием – кремниевой пластиной диаметром 200 миллиметров, на которой размещено 10 тысяч микросхем.
На презентации микроскопа директор «КБТЭМ-ИТЦ» Александр Рогожник отметил, что у истоков этого проекта стояли ученые расположенного в Гомеле Института механики металлополимерных систем НАН Беларуси и сотрудники гомельского предприятия «Микротестмашины», где были разработаны лабораторные прообразы атомно-силового прибора, методики его использования, программное обеспечение. Свой вклад они внесли и вносят также в создание и совершенствование выпущенного в Минске микроскопа.
На снимке: начальник лаборатории программного обеспечения предприятия «КБТЭМ-ИТЦ» Виталий ДУДАРЕВ демонстрирует работу сканирующего зондового микроскопа.
Фото: БЕЛТА
