В 6-м технологическом укладе «второй свежести» не бывает
Когда у нас говорят о высококачественной отечественной микроэлектронике, то все понимающе кивают: как же, знаем, это те штучки, которыми начинено то, что стоит на боевом дежурстве, летает со сверхзвуковой скоростью за облаками и в космосе, выводит на цель высокоточное оружие и обеспечивает связь. Гражданским же применением подобной продукции у нас как-то даже не принято было хвалиться, что и понятно. Ведь считалось нормальным, что эти детали для «менее ответственной» продукции должны обладать качеством заведомо более низким.
Но вот произошло удивительное: была принята и с 2010 года успешно выполняется программа Союзного государства «Микросистемотехника», рассчитанная до 2014 года, основной целью которой определено создание нового поколения микроэлектронных устройств, в первую очередь для гражданского применения. Разумеется, она будет двойного назначения, и военных никто не обидит, но уровень качества предполагается обеспечить все же практически одинаковый. А иначе и быть не может, поскольку в технологиях пятого и шестого технологических укладов «второй свежести» не бывает.
В этом я убедился, побывав в Государственном научно-производственном объединении «Планар», которое вместе с Минским НИИ радиоматериалов представляет нашу страну в этой программе. С российской стороны соисполнителей, к слову, побольше — около двух десятков. Но все они, сориентированные на производство конечной продукции, не смогут успешно развивать это направление без белорусов, так как за минчанами остается создание фундамента совместного проекта — технологического оборудования, на котором будут производиться и тестироваться все эти чудеса микроэлектроники.
Сначала о чудесах. Микросистемотехника — это электромеханические устройства, выполненные на наноуровне, которые могут работать, например, датчиками целой гаммы противопожарных извещателей нового поколения, способных обнаруживать пожар на самой ранней стадии. Создаются также датчики ускорения, то есть акселерометры, которые применяются в автомобилях и делают их эксплуатацию безопасной. Они измеряют вибрацию в системах контроля состояния шасси, антиблокировочных системах, в устройствах защиты от опрокидывания и в противоугонных приборах. На их основе разрабатываются гироскопы, которые применяются в мобильных телефонах для определения их положения в пространстве. То есть они отвечают за то, чтобы картинка на мониторе сохраняла определенное положение, как бы вы ни крутили телефон в руках. Такие телефонные гироскопы значительно повышают качество игр, наделяют мобильники многими другими полезными функциями.
Устройства на базе технологий микросистемотехники позволяют улавливать единичные молекулы газов и других веществ, что выводит на новый уровень приборы для обнаружения, например, взрывчатых, токсичных и наркотических веществ. На ничтожно малые величины способны реагировать и тензодатчики нового поколения, с высокой точностью показывающие нагрузку, которой подвергаются мосты, плотины и другие инженерные сооружения, и по радиоканалу передающие информацию об их состоянии.
Эти новинки, делающие жизнь человека безопасней и комфортней, применяются все шире в мировой практике, но в Беларуси и России до сих пор лишь изредка используются или импортные датчики, или экспериментальные регистрирующие системы, выполненные научными центрами наших стран в единичных экземплярах. Поэтому-то и была поставлена задача организовать массовое производство устройств микросистемотехники, причем был принят комплексный подход к решению проблемы. То есть предусмотрена не только разработка самих микросистемотехнических устройств, но и параллельно должны отрабатываться технологии их изготовления, создаваться оборудование для этого производства. Таким образом, в результате реализации программы появятся базовые технологии, которые могут быть использованы для дальнейшего развития этого направления.
Сегодня белорусские специалисты работают над созданием 14 образцов технологического, контрольно-измерительного и метрологического оборудования, которым будут оснащены новые производства в России. Некоторые экземпляры этой уникальной техники, способной обеспечить мировой конкурентоспособный уровень, уже готовы к отправке заказчикам.
Среди новинок, например, есть уникальная аналитическая зондовая установка, которая позволяет создателям интегральных схем исследовать и испытывать чипы в процессе их разработки, причем сразу в критических условиях, при повышенной температуре, имитирующей условия эксплуатации. По союзной программе создана и установка для приклеивания кремниевых пластин на специальный носитель, что необходимо для их обработки, установки для сборки изделий микроэлектроники и контроля их электрических параметров, роботизированное оборудование для химического утонения пластин, которое манипулирует предметом обработки, не прикасаясь к нему. Предмет особой гордости специалистов «Планара» — комплект оптико-механического оборудования для производства фотошаблонов, включающий генераторы изображений, системы автоматического контроля топологии, установки на базе фемтосекундных лазеров для исправления дефектов. Кроме белорусов, в мире нечто подобное производит только одна компания в США.
Именно фотошаблоны, очень дорогостоящие, к слову, изделия, цена комплекта которых для изготовления одной интегральной схемы может превышать 1 миллион долларов, будут основной продукцией создаваемого на «Планаре» центра производства оригиналов топологии изделий микросистемотехники. Планируется, что он начнет работу в 2014 году и будет обеспечивать потребности в фотошаблонах высокого технологического уровня как российских, так и белорусских предприятий отрасли. Второй совместный центр — кристального производства микросистемотехники — сейчас создается в ОАО «Авангард» (Санкт-Петербург), где на белорусском оборудовании продукция будет изготавливаться в промышленных масштабах.
Как сообщил главный конструктор «Конструкторского бюро точного электронного машиностроения-СО» концерна «Планар» Святослав Школык, нынешняя союзная программа, которая помогла отладить партнерские связи, приобрести опыт взаимодействия и сохранить рабочие места в высокотехнологичных областях, будет иметь продолжение. Она уже получила рабочее название «Микросистемотехника-2». Ее детали прорабатываются, и уже понятно, что круг участников, как и масштаб решаемых задач, будет значительно расширен.
