Обеспечение внутреннего рынка и установки, не имеющие аналогов в мире: как на ОАО «Планар» импортозамещение перешло в экспорт

Тонкие грани уникальности

Телефоны, планшеты, компьютеры, умные часы — многое не казалось бы таким привычным, если бы не продукция этого предприятия. Что общего между смартфонами Apple, Samsung и российской аэрокосмической техникой? Микросхемы и некоторые элементы для них сделаны на оборудовании, которое разрабатывает и выпускает научно-производственный холдинг точного машиностроения «Планар». Таких масштабных и узкоспециализированных компаний в мире меньше, чем пальцев на руке. По каждой единице оборудования у предприятия не более двух конкурентов. «Планар» берет начало своей истории с 1962 года, и, хотя сегодня 80 процентов его продукции поставляется в другие страны, по сути является импортозамещающим. «Р» узнала, как предприятие обеспечивает внутренний рынок, почему его оборудование ценится за рубежом, в чем измеряется инновационный капитал.

Вернемся к истокам

С момента основания ОАО «Планар» являлось головным в СССР по разработке и производству специального технологического оборудования, с помощью которого изготавливаются интегральные схемы и другие полупроводниковые приборы, в частности оборудование для реализации процессов фотолитографии, занимающих центральное место в производстве изделий микроэлектроники. В 1962-м создано Конструкторское бюро точного электронного машиностроения, и только спустя девять лет появилось научно-производственное объединение «Планар».

Такое оборудование не поставлялось из других стран, поэтому вопрос импортозамещения стоял по-особенному. Впрочем, на некоторые виды оборудования и сейчас действует эмбарго. По ряду направлений у «Планара», можно сказать, монополия на рынке стран СНГ.

— Большая часть микросхем и всех полупроводниковых приборов для изделий, которые выпускают российские предприятия, изготовлена на нашем оборудовании, в том числе на нем делают и радиационно стойкие схемы для космических и ядерных приложений. Любой производитель интегральных микросхем не обходится без подобного оборудования. Нашими заказчиками в России является более 200 предприятий, в Беларуси это «Интеграл» и Минский НИИ радиоматериалов, 
— рассказывает генеральный директор ОАО «Планар» Сергей Аваков и показывает справочник оборонной промышленности России, где предприятие значится как производитель специального технологического, контрольно-измерительного и сборочного оборудования для микроэлектроники.

В настоящее время у предприятия есть и такие успехи, которых в советское время не было. Тогда не могли похвастаться тем, что производят оборудование, признанное лучшим в мире. Экономические показатели тоже не отстают: экспорт по итогам девяти месяцев 2020-го составил свыше 250 процентов по отношению к соответствующему периоду прошлого года. Сергей Аваков отмечает, что очень важным этапом в развитии предприятия стал выход на новые рынки:

— Мы начали работать с так называемыми заказчиками первой линии, то есть ведущими мировыми производителями. В качестве примера можно привести две крупнейшие тайваньские компании — совместное предприятие по производству фотошаблонов, созданное ведущими в этой области американским и японским предприятиями, и крупнейшую компанию по производству чипов, в состав которой входит 18 фабрик, реализующих технологии самого высокого уровня (до семи нанометров). Работа с мировыми лидерами кроме существенного расширения рынка для нашей продукции позволяет также повысить технологический потенциал предприятия за счет мотивированной постановки сложнейших задач и сопутствующего этому обучения специалистов.

Сегодня инновационная продукция требует очень больших усилий и постоянных исследований. На стадии завершения опытно-конструкторская разработка, финансирование которой осуществляет Белорусский инновационный фонд на возвратной основе. В настоящее время идет изготовление опытного образца установки лазерного формирования микрорисунка под технологию 22 нанометра, которая не имеет аналогов в мире. Поставки планируются в США и страны юго-восточной Азии.

У предприятия всего два конкурента по номенклатурному спектру — США и Япония.

Ассортимент до предела

Основные конкуренты «Планара» по номенклатурному спектру — США и Япония. Некоторые виды подобного оборудования производятся также в Германии, Нидерландах, Швеции, Англии. В СНГ подобных предприятий нет.

— Почти каждый человек представляет себе радиоэлектронные устройства (компьютеры, мобильные телефоны и другое), значительно меньшее количество людей знает, что такое микросхемы, но что такое оборудование для их производства — не знает почти никто. Наверное, поэтому о нас нечасто говорят, — улыбается Сергей Аваков и проводит в демонстрационно-маркетинговый технологический центр.

Надев халаты, бахилы, шапочки, мы с фотографом узнаем, что в сам центр попасть нельзя, но понаблюдать за его работой можно в серой зоне — через окно с тройным стеклопакетом. Итак, перед нами замкнутое помещение, разделенное на несколько боксов, в каждом из которых находится определенная установка. Среда в нем контролируется, например, температура поддерживается на уровне плюс-минус 0,1 градуса. Специалисты центра напоминают медиков — на них маски и защитные костюмы.

— Такая стерильная среда — обязательное условие. Представленное оборудование нашего производства предназначено для реализации процессов фотолитографии. Оно позволяет создавать оригиналы топологий интегральных схем на фотошаблонах в виде структуры, которые состоят из сотен миллионов элементов топологии. Элемент может быть размером от 800 до 45 или даже 7 нанометров, координаты элементов контролируются до десятых долей нанометра. Наличие пыли приведет к появлению дефектов в топологическом рисунке, — объясняет Сергей Аваков.

Для сравнения: размер частицы коронавируса, по данным медиков, составляет от 50 до 200 нанометров.

Оборудование, которое разрабатывает и производит «Планар», уникальное.

Видим несколько боксов с новыми установками «Планара». Если продвигаться по технологической цепочке изготовления СБИС — это генераторы изображений, установки автоматического контроля топологии на соответствие проектным данным, установки коррекции топологических структур и установки контроля координат и критических размеров элементов.

— Здесь находится генератор изображений, — указывает директор на очередной бокс. — Аналогичное оборудование выпускает только одна американская компания. Генератор позволяет после проектирования интегральной схемы перенести из базы данных рисунок на фотошаблон и получить оригинал топологии на нем. С помощью этого оригинала на последующих операциях проекционным методом формируется топология интегральной схемы. Этот лазерный многоканальный (32 лазерных луча) генератор построен по принципу растрового сканирования и работает в ГУФ-диапазоне (длина волны лазерного излучения составляет 257 нанометров).

На фотошаблоне находятся сотни миллионов элементов, поэтому изготовить его без дефектов теоретически невозможно. Всего лишь один пропущенный дефект в топологии одного из нескольких десятков слоев делает интегральную схему неработоспособной. Поэтому большое значение имеет оборудование, которое позволяет автоматически контролировать топологию фотошаблона путем сравнения ее с проектными данными и обнаруживать дефекты всех возможных типов (43 типа в соответствии с международной классификацией). Это самая дорогая установка из всей технологической цепочки.

В следующем боксе расположена установка контроля координат и совмещаемости комплектов фотошаблонов, которая может служить метрологической базой на предприятии-изготовителе интегральных схем. Микросхема состоит из нескольких десятков слоев, которые должны быть совмещены с высокой точностью. Фотошаблоны последовательно экспонируют на полупроводниковую пластину. Данная установка позволяет с очень высокой точностью (три нанометра на базе 200 миллиметров) получать координаты элементов и контролировать совмещаемость комплекта фотошаблонов.

Инновационный капитал на предприятии достаточно высок. Он измеряется в людях.

Лучшая в мире

— Следующая установка предназначена для ремонта топологии фотошаблона, то есть исправления дефектов, — продолжает Сергей Аваков. — В этой установке реализованы две уникальные технологии, позволяющие в совокупности исправлять дефекты всех типов. Это технология сублимации хрома (перевода твердого вещества в газообразное, минуя жидкую фазу) при помощи фемтосекундного ГУФ-лазера и технология лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического вещества из газообразной фазы.

Эта установка признана лучшей в мире. Ведущий производитель фотошаблонов, базирующийся в Тайвани, проводил тестирование ее технических характеристик. По его методике оценки установка получила 78 баллов, за ней американская — 76 — и японская — 68,5.

— Компания купила на новый завод нашу установку, — делится директор.

Кстати, данная установка разрабатывалась в рамках государственных научно-технических программ при поддержке ГКНТ.

Сервис и маркетинг

Стоимость белорусского оборудования, к слову, не выше, чем у американского, в среднем составляет один-два миллиона долларов. Установку по устранению дефектов фотошаблонов в конечном итоге приобретут все производители в мире, но их немного — 10—15,  для которых востребовано оборудование такого высокого уровня.

— Думаю, в год «Планар» будет продавать по две-три установки, — говорит Сергей Аваков.

Продавать оптико-механическое оборудование так же сложно, как и его разрабатывать. Специалистов по маркетингу готовят только здесь, на предприятии.

— Представьте, что вам нужно продать оборудование, которое даже не имеет аналогов в мире. На первый взгляд, все просто, ведь вы единственный производитель. Однако в этой сфере вас всерьез никто не воспримет, если у вас нет имени на мировом рынке. Это очень серьезное оборудование, и заказчики хотят видеть активность разработчиков, технологические новшества, патенты, публикации. На рынок компаний первой линии мы вышли благодаря тому, что на протяжении более пяти лет участвовали в научно-технических конференциях, специализированных международных выставках (в Сан-Франциско, Шанхае, Мюнхене, Москве), публиковали статьи в специализированных зарубежных изданиях. Плодотворное сотрудничество наладилось даже с некоторыми из тех компаний, с которыми еще 7—8 лет назад не представлялись возможными никакие контакты, — рассказывает Сергей Аваков.

Прежде чем завести речь о контракте, проводится цикл испытаний оборудования специалистами компаний — потенциальных заказчиков. В среднем предконтрактные работы длятся один-два года. Кроме испытаний до подписания контракта, заказчику необходимо также представить развернутую программу сервисного обслуживания.

Капитал в людях

Основная трудность лежит именно в разработке такой наукоемкой продукции. Соответственно, есть некоторые кадровые проблемы. Хоть в Беларуси сильная учебно-техническая база, однако, по словам Сергея Авакова, таких специалистов, которые сразу могли бы что-либо разрабатывать, ни один из вузов не выпускает. Поэтому на самом предприятии каждого молодого специалиста отдают под опеку наставника.

— Производство может быть ограничено набором ключевых технологий, как, например, у некоторых наших конкурентов. Есть определенные технологические переделы, которые трудно реализовать у контрагентов, — отмечает директор. — Например, полтора года пытаемся найти предприятие для производства эллиптического отражателя. Брались и российские, и американские компании, но пока не получили необходимого качества поверхности. Пришлось закупить оборудование ионного полирования, чтобы самим отработать технологию. Действительно, уникальные технологии лучше держать при себе. Например, зеркала интерферометров, которые используются у нас во всех координатных системах, изготавливаем с местной ошибкой всего два нанометра. Это очень точная обработка.

Инновационный капитал на предприятии достаточно высок. За десятки лет здесь получено более 4000 патентов. Однако, как правило, капитал оценивается не в том, что лежит в банке или на бумаге, стоит в помещении, а в людях. На «Планаре» есть несколько технологических переделов, по которым специализируются буквально один-два человека. Нужно иметь способности и навыки. Сергей Аваков подытоживает:

— Любая технология — это совокупность большого количества нюансов. Для ее внедрения, применения нужна практика, которая позволит прийти к достойному результату. Хороший разработчик — штучный товар. Они уникальные. Для их успешной работы и развития на предприятии должна быть создана эффективная система обучения и творческая атмосфера.

malyshchyts@sb.by

Полная перепечатка текста и фотографий запрещена. Частичное цитирование разрешено при наличии гиперссылки.
Заметили ошибку? Пожалуйста, выделите её и нажмите Ctrl+Enter
Фото: Александр КУШНЕР , Алексей МАТЮШ